300mm清洗單元（U2V/2UV)

如今，潔凈技術已廣泛應用于生產各行各業的產品或其他需要防止顆粒污染和微生物污染的環境控制。比如生產手機電子元件的無塵車間，空氣凈化的主要目的是去除空氣中懸浮的塵粒，創造清潔的工作環境，保證產品的高質量、高精度、高純度和高產量。

在電子產品領域，電子元器件從電子管到半導體分離器件到集成電路，僅集成電路的線寬就從幾微米增長到大約0.1微米，比如生產上的貼片、曝光、蝕刻、檢查等制程前段，因此需要一個小型化、精密化的生產環境。

在除塵之前先由靜電消除裝置除去表面靜電，然后經由特殊設計的除塵單元打破了灰塵和材料的邊界層，由除塵單元產生超聲波氣流振動,材料表面粉塵產生松動后被除塵單元真空吸力吸走，從而達到除塵的作用。

非接觸式除塵裝置特性和優點及工作原理：

1、非接觸式結構避免材料損傷。超聲波可打破空氣粘滯層，徹底清除極小顆粒（1.6um以上）的灰塵。

2、從除塵單元吹出的氣流得到充分的應用，控制了整個氣流和真空，從而保證了持續的清除性能不受材料厚度的影響。

3、高效的氣流控制，一些低壓氣流也能得到應用，減小了損耗。

4、非接觸式的清洗方式使被清洗的工件免被劃傷或損壞。

5、閉環系統不會破壞生產車間（潔凈室）的氣流平衡。

6、不需要高額的消耗品，如高純水或化學藥劑等，同時不需要后續的烘干，降低了生產成本并縮短了生產線長度。